X射線熒光光譜儀采用熒光光譜分析技術(shù)，在地質(zhì)、冶金、材料、環(huán)境等無機(jī)分析領(lǐng)域得到了廣泛的使用。與X射線熒光光譜相關(guān)的分析技術(shù)，如同步輻射XRF、全反射XRF光譜技術(shù)等，在痕量和超痕量分析中發(fā)揮著重要的作用。

　　X射線熒光光譜儀性能優(yōu)勢明顯，集合了多年ROHS檢測經(jīng)驗(yàn)，對六種有害元素尤其是Br、Cl等鹵素進(jìn)行了優(yōu)化，模塊化的功能設(shè)計(jì)理念便于應(yīng)對指令進(jìn)行、檢測元素內(nèi)容的升級。全光路射線防護(hù)系統(tǒng)配合三重安全防護(hù)設(shè)計(jì)，同時(shí)采用軟硬件雙重安全連鎖，確保輻射安全性能。

　　X射線熒光光譜儀有波長色散法和能量色散法兩種類型，波長色散X射線熒光光譜儀還可進(jìn)一步分為順序型（掃描型）、多元素同時(shí)分析型（多道）譜儀和固定道與順序型相結(jié)合的譜儀三大類。三者適用范圍各有千秋，順序型適用于科研及多用途工作，多道譜儀則適用于相對固定組成和批量試樣分析，固定道與順序式相結(jié)合則結(jié)合了兩者的優(yōu)點(diǎn)。

　　能量色散X射線熒光光譜儀的基本運(yùn)作為：來自試樣的X射線熒光依次被半導(dǎo)體檢測器檢測得到一系列幅度與光子能量呈正比的脈沖，經(jīng)放大器放大后送到多道脈沖幅度分析器上。按脈沖幅度的大小分別統(tǒng)計(jì)脈沖數(shù)，脈沖幅度可以用光子的能量來標(biāo)度從而得到強(qiáng)度隨光子能量分布的曲線，即能譜圖。

　　與波長色散法相比，能量色散法X射線熒光光譜儀的主要優(yōu)點(diǎn)是：

　　1、由于不需要晶體及測角儀系統(tǒng)，檢測器的位置可以緊接樣品位置，接收幅度的立體角增大，檢測靈敏度可提高2~3個(gè)數(shù)量級。

　　2、不存在高次衍射譜線的干擾，可以一次同時(shí)測定樣品中幾乎所有的元素，分析物件不受限制。

　　3、能量色散X射線熒光光譜儀已發(fā)展成系列儀器，有便攜式或在線型、臺式和通用的高性能譜儀等三種類型。類型區(qū)分主要以譜儀分辨率為基準(zhǔn)。

　　4、儀器操作簡便，分析速度快，適合現(xiàn)場分析。

　　5、結(jié)構(gòu)緊湊，安裝、使用和維修均很方便。特別是以封閉式正比計(jì)數(shù)管為探測器的譜儀，其價(jià)格便宜、重量輕、可靠，能在惡劣環(huán)境下工作，因此廣泛用作現(xiàn)場或在線式譜儀。